PostHeaderIcon Установки для напыления и обработки в вакууме или плазме

Вакуумный универсальный пост ВУП-4

Основные технические характеристики:

  • в результате работы форвакуумного насоса достигается давление в рабочем объеме - 1 Па,
  • в результате последовательной работы форвакуумного и высоковакуумного паромасляного насоса достигается давление под колпаком при охлаждении ловушки житким азотом - 4×10-5 Па,
  • ток накала резистивных испарителей - до 200 А,
  • температура столика для охлаждения объектов - до минус 150 оС (время охлаждения до 30 мин),
  • температура столика для нагрева объектов - до 1100 оС (время нагрева до 15 мин).